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年光伏设备装机量会有大幅度的提高,而设备安装调试需要对各种的动力需求确认跟踪以及根据机台的尺寸数据进行布局,为方便我们光伏人的现场工作,光伏技术后期会对各种设备的主要参数进行介绍,今天光伏技术将介绍Jonesolar制绒臭氧高效清洗设备,期待和您共同进步。
1.Jonesolar制绒臭氧设备
1.公司简介
Jonesolar中世太科技坐落于苏州工业园区,年成立,是专业的臭氧系统提供商,目前已为全球多家光伏电池生产企业、近条电池生产线提供设备和服务,其中臭氧水高效清洗设备的市场占有率超过80%,成为全球规模最大的晶体硅太阳能电池臭氧设备供应商。2.设备铭牌3.设备型号列表4.设备用途①目前主要应用于制绒工序中替代双氧水、制绒后清洗、镀膜前清洗、替代RCA清洗、BOE清洗、高质量氧化膜生产等。②作用是清洗硅片表面,去除硅片表面有机物(添加剂中的)污染,形成氧化层,屏蔽不同取向的表面晶格差异,导致各向同性腐蚀,达到降低硅片表面的微粗糙度。5.动力需求①电力②冷却水TEM-LOK冷却水(精度:20um):gxy-k10-20-③气体要求氧气/氮气(精度0.um)④重量SYSTEMWEIGHT:KG⑤环境要求安装环境温度5℃-30℃,环境湿度为40%-75%,洁净度建议10万级或以上无尘间,不能安装在漏水区域及室外。⑥排风要求⑦安装要求臭氧水机台主机安装在湿制程设备后面,主机需要远离热源与震动,臭氧管路需要远离热源,距离湿制程机台约1.5米远,混合模块(湿模块或射流器)安装在湿制程机台内部。6.设备外部连接①顶部电、气、通讯接口连接设备安装需要厂务端对O2、N2、CDA、电源线缆、冷却水、排风的二次配进行对接。②侧面冷却水接口连接7.注意事项①如果使用99.5%工业氧作为工艺气体,需要额外增加纯化器(或者油水分离器与过滤器组合),露点达到﹣60℃左右,颗粒<0.01um,否则不可使用,如果使用则可能会损坏发生器,如由于气源原因导致发生器损坏,不在保修范围内。②确保机台接地良好,否则可能导致发生器放电异常;③如果由于厂务原因导致设备损坏,设备则不保修。2.设备技术尺寸1.设备主体尺寸2.设备湿模块尺寸3.设备结构4.湿模块结构湿模块:通过大幅增大臭氧与水(或酸液)的接触面积、压力控制以及高效臭氧溶解算法实现高浓度臭氧溶解;湿模块主要由两部分组成:混合器与控制柜。5.技术规格参数6.电气连接方式7.冷却水回路结构3.设备工作原理及应用1.臭氧产生原理臭氧由氧气通过电晕放电产生,我司臭氧发生器类型为高浓度板式臭氧发生器。具体工作方式:氧气通过高频高压电场,被电离成氧原子等基团,基团与氧气分子结合形成臭氧。2.臭氧水产生原理①臭氧在水中的溶解度较高,大约是氧气的13倍,这个特性是生产高浓度臭氧水的基础。②湿模块工作方式:循环水(或酸液)通过泵在目标槽体与湿模块一直循环,臭氧气体在湿模块与射流器中被溶解到水(或酸液)中,然后循环到槽体中。③高浓度臭氧水颜色(浓度越高颜色越深)3.一拖二机台工作方式4.臭氧清洗浓度要求4.设备故障解决1.臭氧浓度低①检查机台设置参数是否有异常;②测试对应槽体的PH值,如果PH值低或者高需要换液后重新开启臭氧;PH值建议控制在3-4之间,由于槽体中使用了盐酸调节PH值,PH值过低时说明盐酸浓度过高,盐酸会与臭氧发生,是可逆反应,即盐酸与臭氧反应后产生的物质会分解再次变成盐酸,从而导致机台臭氧被不断消耗,因此PH值太低会极大的影响臭氧的活性。因此在连续生产过程中,建议定时检测槽体的PH值,确保槽体PH值稳定。③检查湿制程机台槽体温度,温度越高臭氧浓度越低,正常使用下槽体温度不要高于30℃;④检查发生器功率是否正常,如果发生器功率出现低于实际值的情况,则可联系厂家;⑤检查冷却水进水温度,一般使用17℃的去离子水作为机台的冷却水,冷却水温度越高,臭氧水机台浓度会越低。因此如果出现臭氧水浓度降低的情况,需要检查机台冷却水的进水温度。每1℃的冷却水进水温度差异约影响1-2ppm的臭氧水浓度。冷却水进水温度超过25℃或者出水温度超过30℃发生器会自动停机保护,机台会停止运行,进行后吹扫,吹扫结束处于待机模式;⑥机台型号设定错误,会导致机台运行异常;参照型号设定。⑦某些槽体浓度低,但发生器功率正常,产生可能原因:a.某些槽体设定值超过机台设定范围,导致臭氧一直在提升这个槽体的浓度,因此其他槽体浓度会受影响;b.浓度低的槽体对应湿模块或射流器中臭氧进气阀没有打开,导致没有进气。⑧排查方法:机台切换到本地模式,在触摸屏界面设定其他两个槽体DIO浓度为0,保持本槽体DIO设定值不变,其他操作如下:a.查看臭氧水与臭氧气体衔接三通是否有气泡通过,如果有气泡通过,则是正常状态,需要检查PH值是否在3-4之间;如果没有气泡通过,查看氧气流量是否在慢慢降低,如果是对应湿模块或射流器没有进气,发生器处于憋气状态,需要停止机台工作,按照如下流程排查:b.打开对应湿模块控制柜盖板,查看内部压缩空气压力,确保压力值超过0.5MPa,如果压力值低于0.5MPa调节调压阀旋钮,提升压力值0.5MPa以上,如果提升不上去,需要检查厂务CDA进气压力值;c.如果压力值正常,检查臭氧进气阀对应电磁阀是否正常工作。拆除对应电磁阀气体出口管路,切换机台至手动模式,开启空气、氮气、氧气、臭氧输出阀,界面右下角旁通阀,然后点击对应湿模块的臭氧进气阀,界面上阀门状态灯变成绿色,然后检查对应电磁阀气体出口是否有气流,如果有则是臭氧进气气动阀损坏,如果没有气流,则是对应的电磁阀损坏或者堵塞,联系中世太进行售后。2.臭氧发生器流量异常①发生器吹扫流量是固定的,出厂时中世太会设定好吹扫流量。OG1:前后吹扫流量5slm;OG2:前后吹扫流量10slm;OG3:前后吹扫流量15slm;如果吹扫流量值低于设定值,而且在臭氧发生器产生臭氧时流量明显低于正常值,可能是机台管路、阀门堵塞,或者臭氧发生器内部比例阀堵塞或损坏;②排查方法:a.停止机台运行,等待机台后吹扫结束后,切换机台至本地模式与手动模式;b.先确认机台内部各气动阀是否工作正常:可逐一更换新的氧气阀、臭氧输出阀排查,如果更换某一个阀门后,切换至自动模式运行正常,流量稳定,则是此阀门故障引起;c.如果更换上述阀门后,流量仍然不正常,则是发生器内部比例阀故障引起;d.进入臭氧发生器触摸屏界面,点击右上角扳手形状按钮,输入密码进入内部菜单,然后点击进入forceoutput界面,按照第1条臭氧发生器型号输入对应流量值,在红框标识处输入流量值,下方显示实际流量值,点黄框内按钮强制开启发生器阀门,开启后,蓝色按钮会变成绿色,下方绿框标识处会显示实际流量值;e.进入机台手动操作界面,开启空气阀、氧气阀、氮气阀、臭氧输出阀、湿模块中旁通阀;f.此时查看绿框中实际流量值;如果流量值与上方红框内设定值一致,则臭氧发生器比例阀正常;可正常复机使用;g.如果实际值与设定值差异较大,可能是比例阀内部堵塞或者比例阀卡死,需要进行1小时以上连续吹扫,吹扫后流量接近则可以正常复机使用,如果不正常,或者复机后流量再次出现低流量,需要更换比例阀。3.臭氧水机台其他异常①换液后机台臭氧水浓度高a.产生原因:由于换液时没有停止臭氧水机台,因此机台产生的臭氧气体会进入液体管路,导致臭氧水分析仪检测的臭氧气体,因此浓度特别高;b.处理方式:每次换液前停止臭氧机台,如果出现,消除报警,换液结束后,循环泵开启浓度值会自动下降;②臭氧水分析仪界面异常a.机台断电后分析仪没有预热即直接使用,导致显示异常,需要停止臭氧,待预热结束后在开启使用;首次开机使用需要预热24小时,长时间断电再次开机需要预热40分钟,连续使用时断电后需要预热约20分钟;b.分析仪没有较零:导致机台显示浓度异常;4.臭氧设备使用说明链接: