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清洗步骤占比逐年提升，市场扩大

清洗步骤持续增加

清洗步骤在晶圆制造过程中越来越多。随着制程的推进，晶圆制造的良率也开始下降。为了应对这一问题，有效的解决方法之一就是增加清洗工艺，在80-60nm制程中，清洗工艺大约多个步骤，而到了20-10nm制程，清洗工艺上升到多个步骤以上。来源：半导体设备年会

晶圆厂扩产

中国近期新建或扩产的12寸晶圆厂厂商地点主要工艺制程目标月产能（万片）情况SMIC北京40-28nm10新建SMIC上海28nm及以上10新建SMIC深圳90-28nm4建设中闻泰科技上海车规级功率产品3新建北京集电北京DRAM、CIS5新建长鑫存储合肥DRAM12扩产格科微上海CIS2新建华润微重庆功率半导体N/A新建长江存储武汉3DNAND30+扩产晶合集成合肥65-55nmDriverIC、MCU、CIS8扩产中中芯绍兴绍兴N/AN/A计划中三星西安NAND25扩产士兰微厦门90-65nm特色工艺8扩产海力士无锡DRAM30扩产芯恩集成青岛40-28nm超低功耗逻辑10新建粤芯广州90nm4扩产荣芯淮安N/AN/A改建来源：亚化咨询亚化咨询数据显示，目前中国大陆共计有17座12英寸晶圆厂处于建设当中。项目主要分布在北京、合肥、山东、福建及江浙一带，具体项目信息如上表所示。晶圆厂的扩产势必也会拉动对国内清洗设备的需求。

清洗设备市场规模

来源：Gartner根据Gartner统计数据，年全球半导体清洗设备市场规模为34.17亿美元，年和年受到全球半导体行业景气下降的影响有所下行，分别为30.49亿美元和25.39亿美元，预计年后随着全球半导体行业复苏，半导体清洗设备市场会逐年增长，预计年达到近32亿美元。来源：海关数据，亚化咨询《中国半导体晶圆厂设备国产化季度报告》把目光看向国内，海关数据显示，年中国半导体湿法刻蚀及清洗、剥离设备的进口额已经突破6亿美元，进口金额仍然不小。根据亚化咨询数据，清洗设备是国产化率最高的半导体设备。结合未来晶圆厂建设进度，可以预测，中国国内每年装机需求强劲，依然有很大的上升空间。中国半导体设备及材料国产化率预测20252030光刻机突破03-4%10%刻蚀设备＜20%25-30%＞35%涂胶显影设备突破03-4%≈10%离子注入设备突破05%10-15%薄膜设备10-15%20-25%30%抛光设备≈10%15-20%25-30%清洗设备≈20%≈30%40-45%过程控制设备2-3%5-10%＞20%测试机/探针台突破05-10%15%整体工艺设备≈12%20-25%35-40%原材料＜15%20-25%30-35%来源：亚化咨询《中国半导体晶圆厂设备国产化季度报告》

国内典型FAB项目中标情况

来源：Gartner、亚化咨询根据Gartner数据，国际上共有5家企业在生产单晶片清洗设备，分别是ScreenSemiconductorSolutions、TEL、LamResearch、SEMES和ACMResearch（盛美）。那么，国内主流FAB对这些厂家的偏爱如何？直接拿数据说话！据亚化咨询统计，长江存储、华虹无锡、上海华力二期项目共累计采购的多台清洗设备中，按中标数量对供应商排序依次是Screen、盛美半导体、LamResearch、TEL、北方华创、沈阳芯源等。盛美半导体的市场份额排名第二，已超过LamResearch。

长江存储

来源：亚化咨询《中国半导体晶圆厂设备国产化季度报告》截至年8月19日，长江存储共累计中标台清洗设备，其中国产设备占比高达26.95%，而盛美半导体就占去了24.11%的比重！

华虹无锡

来源：亚化咨询华虹无锡项目采购的50多台清洗设备中，其供应商按中标数量排序依次是Screen、盛美半导体、LamResearch、TEL，所占份额依次是54%、21%、21%、2%，盛美半导体与LamResearch所占份额相同。

上海华力二期

来源：亚化咨询上海华力二期项目采购的70多台清洗设备中，其供应商按中标数量排序，前三依次是Screen、LamResearch、盛美半导体。根据以上三个项目，结合国际市场情况，不难发现，国产清洗设备在国内的FAB中很受青睐，采购比例远超国际份额！来源：亚化咨询根据亚化咨询整理自招标网的数据显示，目前盛美半导体已经累计中标超过台半导体专用设备。可见半导体清洗设备国产化的进程正持续推进，加之存在半导体设备国产化率的指标，也给了国产供应商不断调试、持续进步的机会。总之，一切向好，进步惊人，未来可期！

湿法制程设备与技术论坛将于11月3-4日在杭州召开，探讨新形势下湿制程设备产业发展的现状与趋势、上下游市场产生的新需求等问题，为湿制程设备业持续发展提供坚实的支撑。会后，论坛还将组织特有的产业链对接互动等活动。

会议主题

1、半导体设备行业经济运行剖析和成长瞻望

2、中国半导体设备行业支撑政策讨论

3、泛半导体领域湿法制程设备关键技术、近况和成长趋势

4、特色湿法制程设备分享及技术能力展示

5、湿法制程设备制造的焦点手艺和共性手艺探讨

6、湿法设备要害部件的研发及量产进展

7、半导体技术革新对设备产生的新需求

8、湿法制程配套耗材产业现状及发展

9、上下游对接互动

10、商务考察

同期，另有第四届中国半导体大硅片论坛，欢迎点击图片报名！

会议日程

硅外延片的生产技术及市场需求

——合晶科技

集成电路用硅片未来发展技术趋势

——国内半导体硅片厂

重掺As衬底上的外延工艺/SOI技术

——上海新傲科技

半导体大尺寸单晶生长的挑战

——南京晶能

电子级多晶硅的生产技术与市场

——Hemlock

电子级多晶硅国产化

——黄河水电

中美贸易战和瓦森纳协议对中国半导体大硅片产业发展影响

——国内某存储企业

…………

更多精彩报告有待后续揭晓！！！

关于亚化咨询

亚化咨询8年成立于上海浦东，是一家领先的能源化工、材料科技新兴领域的咨询机构。目前重点研究行业包括煤基新材料、高端石化、光伏、氢能、生物能源材料、半导体等。通过研究行业前沿趋势，技术研发与应用进展、政策规划与项目建设、供应与需求等，提供研究报告、商务会议和精品培训等多种高价值服务，亚化咨询助力客户决胜市场，构建长青基业。

如果您有意向做演讲报告或赞助或参会，欢迎您尽快与我们联系！

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