当前位置: 洗涤设备 >> 洗涤设备资源 >> 国产化进行时关于晶圆自动剥离清洗设备核心
自动晶圆剥离设备主要运用在晶圆制造过程的初始过程。
在日本主要为东京精密TSK和日本PHT。因为东京精密采用直销模式,目前中国市场主要为该公司人员直接对应。日本PHT进入中国晚一些,该公司子公司目前在中国硅晶圆厂商有几台应用业绩。
本文主要讨论中科集芯(PHT)清洗板块核心技术介绍。
拥有40年以上工艺技术和机器人系统经验,特别是在大尺寸领域,晶圆尺寸越大,晶圆搬运的难度就越大。例如,对于12英寸的剥离设备,切片后的产品重量超过90千克,日本PHT主要子公司在20年前就已经开发了一种高度刚性且精确的机制来实现稳定的搬运。
在晶锭晶圆粘合剂使用热软化型粘合剂,PHT中科集芯拥有的剥离设备使用热风吹制法,东京精密使用是一种沸水(约90°C)浸渍型。热风吹制法(即剥离法)的优势在于,第一片晶圆处理可以在短时间内完成。由于将热空气直接吹到粘合部分上,因此可以在大约10到15秒内连续剥离晶圆。在沸水浸渍型中,第一片晶圆的剥离需要花费3至5分钟(至秒)。每片晶圆处理后,可以进行单片运行。剥离的晶圆的是硅锭的哪一部分信息,可以发送到主机进行管理。
(比如:晶锭的顶部,中间部分,底部等)